薄膜技术与薄膜材料

  • 选择标签：工业技术
  • 出版时间：2025-10-07
  • ISBN：9787122013149
  • 出版社：化学工业出版社
  • 作者：郑伟涛著
本书重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。
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